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，據捷佳偉創(chuàng)官方公眾號報道，常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司國內首臺完全自主研發(fā)的電子級硅芯清洗設備目前已經成功下線，將于近日部署至某合作客戶處。

據悉，此款硅芯清洗設備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設備，用于清洗硅芯表面有機物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機能水等工藝，產品可用于高純光伏硅片和半導體硅片的生產制程，清洗后總表金屬≤0.2ppbm。

IT之家從官方公眾號得知，該產品的主要技術特點如下:

• 材料升級

• 與德國 Rochling 合力開發(fā)耐氧化，耐高溫材料用于槽體制作。

• 工藝升級

• 結合國外成熟工藝與機能水清洗工藝，清洗能力更強。

• 內部潔凈升級

• 內部流場的全新設計，搭配更高效 FFU、抽風通道及酸堿隔離裝置，內部更潔凈。

• 結構升級

• 底部龍門式 Robot 設計，運載更穩(wěn)定，運動部件產生的 Particle 可更快排出設備外。

• 硅芯載體優(yōu)化

• 硅芯載體優(yōu)化，更穩(wěn)定的結構，更小的接觸面積配合旋轉機構，清洗更徹底。

• 制作升級

• 槽體及槽內零件多采用折彎制作工藝，減少犄角疙瘩及焊接內的藏污納垢。

• 裝配升級

• 全設備設置在千級潔凈室生產。

官方表示，長期以來，電子級硅芯硅料清洗設備市場份額都被外國廠商占有，捷佳偉創(chuàng)作為太陽能光伏電池設備行業(yè)領軍企業(yè)及半導體設備制造商，將“堅持以研發(fā)制造一流專業(yè)設備，推動國內相關行業(yè)發(fā)展為己任”。

捷佳偉創(chuàng)宣稱，目前官方已實現(xiàn)表金屬 0.5ppbw 以上等級的電子級硅料批量出貨，2024 第一季度將推出 0.1ppbw 以下的產品。

捷佳偉創(chuàng)聲稱，未來公司將繼續(xù)秉承“技術領先，管理領先，服務領先”的發(fā)展戰(zhàn)略，繼續(xù)精進光伏電池生產設備及半導體濕法清洗設備研發(fā)，并向更廣闊的產品領域和更豐富的技術路線繼續(xù)發(fā)展，為客戶提供技術領先、質量過硬、服務周到的產品。

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